凈化車(chē)間，也可以稱(chēng)為凈化車(chē)間或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有凈化車(chē)間，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。那么凈化車(chē)間是由哪幾部分組呢？
凈化車(chē)間共有五部分組成：
1、隔間
凈化車(chē)間隔間分為三大部分,更衣室,千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū),更衣室與千級(jí)區(qū),千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower),凈化車(chē)間與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox).當(dāng)人員進(jìn)入凈化車(chē)間時(shí),首先要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室,對(duì)人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車(chē)間的灰塵.傳遞箱則是對(duì)物品灰塵進(jìn)行吹淋,達(dá)到落塵的效果。
2、風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)系統(tǒng)流程圖
系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱+FFU系統(tǒng)：
全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)
FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機(jī)和過(guò)濾器
千級(jí)區(qū)過(guò)濾器采用HEPA,過(guò)濾效率99.997%,百級(jí)區(qū)過(guò)濾器采用ULPA,過(guò)濾效率99.9995%。
3、水系統(tǒng)水系統(tǒng)流程圖
冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè).
一次側(cè)冰水水溫7-12度,供給空調(diào)箱和風(fēng)機(jī)盤(pán)管,二次側(cè)冰水12-17度供給干盤(pán)管系統(tǒng).一次側(cè)冰水和二次冰水為兩個(gè)不同的回路,之間由板式換熱器連接.
板式換熱器原理
干盤(pán)管:不結(jié)露的盤(pán)管,因凈化車(chē)間溫度在22度,其露點(diǎn)溫度12度左右,故7度冰水不能直接進(jìn)入凈化車(chē)間,所以進(jìn)干盤(pán)管的冰水溫度在12-14度.
4、控制系統(tǒng)(DDC)溫度:干盤(pán)管系統(tǒng)控制
濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過(guò)感測(cè)的信號(hào),控制三通閥開(kāi)度來(lái)調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤(pán)管進(jìn)水量。
正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測(cè)的信號(hào),自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。
5、其他系統(tǒng)
不只是空調(diào)系統(tǒng),凈化車(chē)間系統(tǒng)中還包括有真空,空壓,氮?dú)?純水,廢水,二氧化碳系統(tǒng),制程排氣系統(tǒng),
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